Gerade (Standard)

Abgewinkelt (für polygonale Transfermodule mit zwei Load Locks nebeneinander)

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Ein Wafer (Standard)

Zwei Wafer

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Aluminum EN AW-5083 (Standard)

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Standardreinigung in einer ISO-8-Umgebung montiert gemäss Semi-Norm (Standard)

Hochreinheitsreinigung in einer ISO-6-Umgebung montiert

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Grobvakuum (standard 1000-10^-3 mbar)

Hochvakuum (10^-4 - 10^-8 mbar)

07.0 Atmosphärentür mit LINVAT (Standard)

05.3 L-MOTION (High-End-Option, identische Ventile)

05.3 L-MOTION (Standard)

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FKM „Viton®“ (Standard)

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FKM „Viton®“ (Standard)

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29.0 (Standard – für Soft-Pump-Funktion)

26.4 (für fettfreie Variante in Kombination mit einer Blende)

62.x (Soft-Pump)

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KF50-Scheibendiffusor (Standard)

Keine

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Ja (Standard)

Keines

Ja, 1x KF16- und 1x KF25-Anschluss (Standard – 1x KF16-Anschluss für Druckmesser, 1x KF25-Anschluss für Leckdetektor)

Keiner

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Deckel Sperrschalter (Standard)

Keine

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Ja (Standard)

Keine

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Keine (Standard)

Ja, mittels Heizplatte

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Keine (Standard)

Kühlplatte aus Aluminium nur für aufbereitetes Wasser geeignet

Kühlplatte aus Aluminium auch für Leitungswasser geeignet

Kühlplatte aus Edelstahl

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Keine (Standard)

Kühlleitung

Heizpatronen

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Ja (Standard)

Keines

Ja (Standard)

Keines

Mit Präzision zu Leistung. Für die Fertigung von morgen. Auf der Semicon India 2026.

Mit Innovation zu Präzision. Für die Fertigung von morgen. Auf der Semicon Taiwan 2026.

VAT Medienmitteilung zum Halbjahresabschluss 2026

VAT Media Release on Acquisition of Atonarp

Series

Doppel Load Lock

Doppel Load Lock

Verfügbare Optionen

Form

Anzahl der Wafer pro Schlitz

Werkstoff

Reinheitsvorgaben

Druckbereich

Atmosphärentür (LL bis EFEM)

Transferventil (LL bis VTM)

Werkstoff für statische Dichtungen

Dynamisch vulkanisierte Dichtungen

Pumpventil für die Grobevakuierung

Belüftung

Sichtfenster

Sensoranschluss

Sicherheitsmassnahmen

Wafer Auflage

Waferheizung

Waferkühlung

Kammerkonditionierung

Ausgleichsventil

Überdruckventil