シングルロードロック

利用可能なオプション

各カテゴリで1つのオプションを選択してください

形状

スリットあたりのウェーハ数

材質

清浄度仕様

圧力範囲

ATMドア（LLからEFEM）

トランスファーバルブ（LLからVTM）

静的シーリング材質

動的バルカナイズドシーリング材質

粗引き用ポンプバルブ

ベント

ビューポート

センサーポート

安全対策

ウェーハフィンガー

ウェーハ加熱

ウェーハ冷却

チャンバーコンディショニング

等圧弁

過圧バルブ