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Mit neuen Ansätzen im Partikel-Management setzt VAT Maßstäbe für Ultra Clean Vacuum-Anforderungen. Ziel ist eine maximale Vermeidung von unerwünschten Partikeln und Ausgasungen. \n(7 min. Lesezeit)

Haftende Ventiltellerdichtungen bieten gegenüber klassischen O-Ring-Dichtungen eine Reihe von Vorteilen – neben längerer Lebensdauer vor allem verbesserte Dichtungs- und Dämpfungseigenschaften. (6 min. Lesezeit)

Halbleiterchips werden heute im Überfluss für eine zunehmende Vielfalt anspruchsvoller Anwendungen eingesetzt. VAT entwickelt sich von einem Lieferanten von Vakuumkomponenten zu einem Systemintegrator, der die Entwicklung von immer komplexeren Halbleiterproduktionslinien unterstützt.\n\n(4 min. Lesezeit)

Die Entwicklung von spezifischen Dichtungstechnologien ist für VAT ein entscheidendes Merkmal seiner Wettbewerbsfähigkeit. Wo Standardlösungen ihre Grenzen erreichen können VAT Vakuumventile Anlagenbetreibern ein Mehr an Funktionssicherheit bieten. Gerade auch im Bereich klassischer Elastomerdichtungen setzt VAT hierbei Maßstäbe. \n(3 min. Lesezeit)

Mit dem neuen 06.3 Large Transfer Valve / Insert mit TWINVAT bietet VAT eine optimierte Version seiner erfolgreichen Baureihe 06.1 mit größeren Druckelementen, speziell für OLED-, PVD- und Loadlock-Anwendungen.\n\n(1 min. Lesezeit)

Führender Anlagenbauer von großen Produktionsmaschinen für TV-Displays gibt VAT den Zuschlag für die Lieferung des neuen 29. 2 HV-Eckventils mit Soft-Pump-Funktion. (1 min. Lesezeit)

Halbleiterproduktionsanlagen müssen sich schnell amortisieren - schon der nächste Innovationszyklus erhöht den Kostendruck. Alternde Anlagen machen dies zu einer Herausforderung. VAT bietet deshalb Upgrades & Retrofits als kosteneffektive Lösung zur Optimierung bestehender Produktionsanlagen. (2 min. Lesezeit)